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蘇州愛拓利電子設備有限公司
350系列
氣體質量流量控制器
咨詢熱線：

0512-85162266

Product Overview
產品概況

MFC350 系列為全新升級的毛細管熱式氣體質里流量計/控制器。

350系列工作原理
產品特點

精度：0.5 % F.S.

測量范圍：0.5%~100% F.S.

控制范圍：1%~100% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

≤1s 快速響應

90+種氣體適用

量程：2 sccm-200slm

通訊方式: 模擬量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

Technical Parameters
技術參數
主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥氣體
  • 氣體種類
    130+ Available for 130+types of gas
  • 量程
    0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm
    0-1, 2, 3, 4, 200 slpm
  • 控制范圍
    1%F.S-100%F.S.（1:100）
  • 準確度
    0.2% F.S
  • 重復精度
    0.05% F.S
  • 線性度
    0.1%F.S
  • 控制響應時間
    100ms
  • 預熱時間
    0s
  • 閥門
    常閉
  • 泄漏率
    1*10-10 Pa*m3/s He (氟橡膠密封)
    1*10-11 Pa*m3/s He（全金屬密封）
  • 分辨率
    0.001sccm
機械特性
電氣和通訊
特征
尺寸
產品選型
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