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蘇州愛拓利電子設備有限公司
300系列
氣體質量流量控制器
咨詢熱線：

0512-85162266

Product Overview
產品概況

MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

MFC300工作原理
產品特點

超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應

高重復性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

Technical Parameters
技術參數
主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. （1:500）
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
  • 傳感器響應時間
    5ms
  • 控制響應時間
    300ms
  • 預熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式
機械特性
電氣和通訊
特征
尺寸
滿量程 高 寬 深度 A B C D E 重量
5 sccm~5 slpm 66.20 mm 51.00 mm 39.00 mm 43.70 mm 27.40 mm 4.30 mm 5.80 mm M4 ↓ 5 mm ≈0.38 kg
2.606 in 2.008 in 1.535 in 1.720 in 1.079 in 0.169 in 0.228 in M4 ↓ 0.197 in ≈0.84 lb
產品選型
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