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蘇州愛拓利電子設備有限公司
320系列
氣體質量流量控制器
咨詢熱線：

0512-85162266

Product Overview
產品概況

MFC320 系列為全新升級的MEMS氣體質量流量計/控制器。

320系列工作原理
產品特點

精度：0.5 % F.S.

控制范圍：1%~100% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

10ms測量響應，300ms控制響應

抗腐蝕型可選

量程：1 sccm-200slm

通訊方式：模擬量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat

Technical Parameters
技術參數(shù)
主要參數(shù)
  • 介質要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    20+ （抗腐蝕型可選）
  • 量程
    0-1,5,10,20,50,100,300,500 sccm
    0-1,2,3,4,200 slpm
  • 測量范圍
    0.2% - 100% F.S. (1:500)
  • 控制范圍
    1% - 100% F.S. (1:100) (MFC)
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.001 sccm
  • 傳感器響應時間
    5ms
  • 控制響應時間
    300ms
  • 預熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉
  • 泄漏率
    1*10-11 Pa*m3/s He
機械特性
電氣和通訊
特征
尺寸
產品選型
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