半導體行業
在制造半導體芯片的絕緣層（如二氧化硅薄膜）時，常用的化學氣相沉積方法是使用硅烷（SiH?）和氧氣（O?）作為反應氣體。氣體質量流量控制器（MFC）精確控制硅烷和氧氣的流量，確保它們以準確的比例進入反應室。這對于生成高質量、均勻的二氧化硅薄膜至關重要。因為薄膜的厚度、成分和質量直接影響半導體器件的性能，如絕緣性能和電子遷移特性。
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光伏行業
在 PECVD 過程中，需要精確配比反應氣體，如硅烷（SiH?）、氨氣（NH?）等。氣體質量流量控制器MFC能夠準確測量和控制這些氣體的流量，確保薄膜的厚度、均勻性和光電性能達到理想狀態，從而提高光伏電池的轉換效率和穩定性。
PVD（物理氣相沉積）：PVD 過程中，也需要對各種反應氣體進行精確控制。氣體質量流量控制器可以根據工藝要求，穩定地提供所需的氣體流量，保證沉積薄膜的質量和性能，滿足光伏電池的生產需求。
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真空鍍膜行業
在蒸發鍍膜過程中，如采用電阻加熱、電子束加熱等方式使鍍膜材料蒸發，然后沉積在基底表面。氣體質量流量控制器（MFC）用于精確控制真空腔內的工藝氣體流量。例如，在鍍鋁膜時，氬氣常作為保護氣體和輔助氣體引入。MFC 精確控制氬氣流量，能防止蒸發的鋁原子在飛行過程中被氧化，確保鋁膜的純度和質量。
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生命科學行業
在生物發酵過程中，微生物的生長和代謝對氣體環境非常敏感。氣體質量流量控制器可精確控制氧氣、氮氣和二氧化碳等氣體的供應，確保發酵罐內氣體環境的穩定性和一致性，從而提高發酵效率和產品質量。例如，在抗生素發酵生產中，通過精確控制氧氣流量，可使發酵過程中的溶氧水平保持在預設范圍內，促進抗生素的合成。
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燃料電池行業
精確控制反應氣體供應：在燃料電池測試過程中，需要精確控制氫氣和氧氣（或空氣）等反應氣體的流量。氣體質量流量控制器（MFC）可以根據測試要求，精確地將氫氣以特定的流量輸送到燃料電池的陽極，將氧氣或空氣輸送到陰極。
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生物發酵行業
氧氣供應：在好氧發酵過程中，微生物需要充足的氧氣來進行呼吸作用。氣體質量流量控制器（MFC）可以精確地控制進入發酵罐的氧氣流量。例如，在酵母菌發酵生產乙醇的過程中，通過 MFC 將氧氣流量控制在合適的范圍，能確保酵母菌的有氧呼吸階段順利進行，為后續的無氧發酵產生乙醇提供足夠的能量和中間產物。一般來說，根據發酵罐的大小、酵母菌的濃度和發酵階段等因素，MFC 可以將氧氣流量控制在每分鐘幾升到幾十升不等。
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元素分析儀器
化學反應氣體控制：在一些特殊的元素分析方法中，會涉及到化學反應氣體。例如，在化學發光氮測定儀中，用于分析樣品中的總氮含量時，需要通過 MFC 控制氧氣的流量。氧氣與樣品中的氮化合物反應產生化學發光信號，MFC 精確控制氧氣流量可以調節反應的速率和程度，從而準確地測量氮元素的含量。一般來說，MFC 可以將氧氣流量控制在 50 - 150 mL/min，確保化學反應在合適的條件下進行。
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